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應(yīng)用原理：
在使用油擴(kuò)散泵、分子泵抽真空的過程中，空間中80%以上的殘余氣體是水蒸氣、油蒸氣以及一些高沸點(diǎn)的蒸汽，這類殘余氣體在高真空狀態(tài)下，抽取難度大、速度慢，而且殘余氣體的存在不僅會(huì)影響真空度也會(huì)污染生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)工件，深冷機(jī)可有效解決這類問題,在真空度 10-2至 10-8 pa 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣，提高真空度、提高產(chǎn)品品質(zhì)，加快抽速提高生產(chǎn)效率。
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在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。
根據(jù)需要，二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝。
根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況，我們可制作不同形狀的冷凝盤管。
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真空深冷機(jī)概述
真空深冷機(jī)又稱快速循環(huán)水汽深冷泵、polycold超低溫捕集泵、超低溫冷凝排氣機(jī)等。
真空深冷機(jī)采用先進(jìn)的單機(jī)自復(fù)疊制冷系統(tǒng)，壓縮機(jī)、控制器等大部分部件均選用進(jìn)口國際知名品牌，采用無氟環(huán)保綠色制冷劑，能替代液氮，節(jié)約成本，具有制冷降溫快、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定、高效低耗，維護(hù)方便等特點(diǎn)。
智能控制系統(tǒng)（智能控制系統(tǒng)，完善的自動(dòng)化控制，操作簡單）
溫度顯示：具有水溫溫度顯示、排氣溫度顯示、預(yù)冷溫度顯示、負(fù)載溫度顯示、出口溫度顯示、加熱溫度顯示。
安全控制系統(tǒng)
多種故障報(bào)警：缺水、水溫過高過低、缺相、溫度傳感器等報(bào)警功能。
多種報(bào)警方式：聲音蜂鳴報(bào)警和報(bào)警指示燈、也可接遠(yuǎn)程報(bào)警。
設(shè)有密碼保護(hù)防止隨意調(diào)整參數(shù)。
顯示屏帶運(yùn)行狀態(tài)指示，方便了解設(shè)備實(shí)時(shí)運(yùn)行狀況。
多種保護(hù)功能：具有延時(shí)啟動(dòng)、過熱過電流、過壓欠壓、缺相、散熱不良，壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高、冷卻水壓力過低等保護(hù)裝置。
優(yōu)化復(fù)疊技術(shù)，獨(dú)特的蒸發(fā)冷凝換熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)，制冷能力更強(qiáng)。
制冷機(jī)溫度可到-120℃，*低可到-150℃。
2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，3分鐘可再降溫
采用國際品牌上等壓縮機(jī)、品牌油分離器，保障產(chǎn)品性能穩(wěn)定，制冷效果更強(qiáng)勁。
增強(qiáng)型發(fā)泡設(shè)計(jì)：能有效鎖住冷量。
采用水冷式冷凝器，加寬了產(chǎn)品的使用環(huán)境區(qū)間，環(huán)境溫度*高可達(dá)45℃。
人機(jī)界面，高度適宜，操作方便。
可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換。
一臺(tái)深冷機(jī)可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出、互不影響。
萬向底腳輪設(shè)計(jì)，移動(dòng)輕松，使用方便。
RS485計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。
實(shí)際案例圖
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1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間50-80%；
2、提高鍍膜質(zhì)量，防止返油、不脫落、顏色純正、提高生產(chǎn)效率；
3、降溫迅速，質(zhì)量可靠，溫度可到-120℃，*低可到-150℃；
4、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，3分鐘可再降溫；
5、完善的自動(dòng)化控制（觸摸屏+PLC）操作簡單；
6、一臺(tái)真空深冷機(jī)可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出、互不影響；
7、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)保綠色混合型制冷劑;
8、除霜溫度自由設(shè)定；
9、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷；
10、具有壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù)；
11、采用水冷式冷凝器，加寬了產(chǎn)品的使用環(huán)境區(qū)間，環(huán)境溫度*高可達(dá)45℃。
12、缺水、水溫過高、電源斷電、缺相等報(bào)警功能；
13、具有水溫溫度顯示、排氣溫度顯示；
14、兩路負(fù)載入口顯示、出口溫度顯示、本機(jī)溫度顯示；
15、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；
16、RS485計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制；
17、成本回收時(shí)間短
真空深冷機(jī)型號(hào)規(guī)格：
型號(hào)
LC-1100D12
LC-1100D16
LC-1100D16L
LC-1100D18
LC-1100D18L
功率（KW）
10
14
14
18
18
*大制冷量（W）（-100℃）
2000
3000
3000
4000
4000
電源
380V，50HZ
抽速L/S
149200
238200
238200
372500
282000
預(yù)冷時(shí)間（min）
30
除霜時(shí)間（min）
≤3
≤3
≤3
≤4
≤4
再降溫時(shí)間（min）
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
低溫管表面積（㎡）
1
1.8
1.5
2.5
2
低溫管規(guī)格
20m
38m
雙路15m
50m
雙路20m
冷卻方式
水冷，水溫≤30℃
冷水流量（t/h）
1.6
2.5
2.5
3
3
冷水接口尺寸（mm）
16
16
16
19
19
需冷水機(jī)功率（HP）
5
8
8
10
10
適用油泵直徑（mm）
≤800
≤900
≤600
1000或1200
≤800
適用真空腔室直徑（mm）
≤1300
≤1500
≤1000
≤1800
≤1500
真空深冷機(jī)適用領(lǐng)域：
1半導(dǎo)體 2太陽能薄膜制程 3光纖市場 4平板顯示 5裝飾鍍膜、卷繞鍍膜、光學(xué)鍍膜