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無塵高溫箱的使用方法與注意事項
Lab Companion 無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化jia、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵高溫箱是實驗輔助干燥設(shè)備之一,應用范圍廣泛,操作較復雜,因此,較一般烘箱有著更高的要求,使用過程中就有著更多需要注意的地方。
一、樣品放置
1、不可在烘箱加熱狀態(tài)下放置樣品,需在確保加熱關(guān)閉狀態(tài)下放置樣品;
2、放置樣品時,上下四周應留存一定空間,保持箱內(nèi)氣流暢通;
3、若樣品在干燥過程中會產(chǎn)生相態(tài)變化,必須裝在托盤中,避免污染其他樣品;
4、任何液態(tài)溶劑以及真空狀態(tài)下燃點、沸點降低zhi150℃以下物品,嚴禁放入箱內(nèi)。
二、關(guān)緊箱門
1、關(guān)閉時不可太用力,避免造成箱體大幅震動;
2、箱門上有螺栓,關(guān)閉時需確認箱門與硅膠密封條緊密結(jié)合。
三、加熱
1、加熱步驟必須在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行,否則易導致內(nèi)外壓強及溫度差,造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況;
2、升溫過程中,加熱指示燈長亮,達到設(shè)置溫度后,加熱自動停止,同時指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時,加熱再次啟動,加熱指示燈亮;
3、加熱指示燈及溫度需正常顯示,若指示燈不亮需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。
四、溫度設(shè)置
1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度,真空下物料燃點、沸點驟降,設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象;
2、數(shù)顯溫度需正常指示,若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人;
3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致,加熱指示燈熄滅后,方可離開;
4、為避免控溫失靈,需有專人定時查看儀器運行是否正常,并留意烘烤物料變化情況,若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。
五、取樣
1、放氣時切勿將閥門一次開zhizui大,避免外部氣流進入箱內(nèi)時沖擊樣品,造成箱內(nèi)及樣品間的污染;
2、由于長時間真空導致箱門密封硅橡膠變形而無法打開箱門時,不可強制開啟箱門,只需等待密封硅橡膠圈緩慢恢復原狀,即可打開箱門。
3、取樣完畢后,及時關(guān)閉放氣閥門。